クリーンルームの定義と分類

クリーンルームの主な役割は、製品が直面する環境の温度、湿度、空気の清浄度を管理し、製品を比較的良好な状態で製造することです。この環境や空間をクリーンルームと呼んでいます。国や地域によって仕様が異なりますが、一般的には米国連邦規格209が多く使用されています。

209Dと209Eの簡単な比較を行い、他の規格についても言及します。209Eと209Dの最大の違いは、209Eがメートル法を採用していることと、クリーンルームがM1、M1.5、M2.5、M3などのように「M」で分類されていることです。標準的な国際メートル単位と一緒に、アラビア語の文字の後の数字は、M> = 1.5,2.5,3.5などのように命名された2クラスの間に2フルパワーの範囲内の塵埃粒子の数であれば、誰にインデックスを取り、10のべき乗を表現するために0.5μmの単語の立方メートルあたりです。

米国連邦規格FS209Dは1立方フィート当たりのインペリアル単位であり、日本はメートル法、すなわち1立方メートル当たりの単位を使用し、0.1μmの粒子を数える基準である。日本ではClass1、Class2、Class3......Class8と表現され、Class1が最高で、Class8が最低とされている。

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